仪器名目

SU8010冷场发射扫描电子显微

品牌：日立 Hitachi 型号：SU8010    2016年购入，仪器置于生科院3号楼A103

HITACHI SU-8010高分辨场发射扫描电镜包括SU-8010主机和E-1045喷铂喷碳装置，并配备有EDAX X射线能谱仪。加速电压为15kV时，分辨率为1.0nm，加速电压为1kV时，分辨率为1.3nm。

性能指标：

分辨率：1.0 nm（15 kV）；1.4 nm（1 kV, WD = 1.5 mm，减速模式）；2.0 nm（1 kV, WD = 1.5 mm，普通模式）

放大倍数：30倍~800,000倍；

电子枪：冷阴极场发射电子源，加速电压：0.5~30kV（0.1KV/步，可变，普通模式）

样品台：X : 0~50 mm   Y : 0~50 mm  Z : 1.5~30 mm T : －5~70° R : 360°，样品尺寸最大直径：100 mm（标准）

信号选择：二次电子模式和背散射模式，X射线信号，辅助信号

主要用途：

1. 扫描电镜（SEM）可观察纳米材料、材料断口的分析、观察原始表面、观察区域细节、显微结构分析等。

2. X射线能谱仪可进行成分的常规微区分析：元素定量、定性成分分析，实时微区成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量。分析范围Be4~U92。

3. 已广泛应用于材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料、医药科学以及生物等领域。